艾睿光电成功推出国内首款VGA面阵高灵敏度非制冷太赫兹成像机芯

据麦姆斯咨询报道，国内领先的非制冷红外/太赫兹焦平面探测产品供应商艾睿光电科技有限公司日前成功推出公司第二代、同时也是国内首款VGA面阵非制冷太赫兹成像机芯RTM-T02。机芯采用公司自主研发的宽波段、大面阵、高灵敏氧化钒非制冷太赫兹焦平面探测器，响应频段覆盖2~10 THz；像元尺寸17μm，达到深亚波长级别；阵列规模640 x 512，为同类商业产品中最大；噪声等效功率（NEP）小于100pW，归一化NEP小于1pW/Hz1/2。该产品的推出标志着我国在高端非制冷太赫兹成像探测技术领域达到国际领先水平。

艾睿光电VGA太赫兹机芯实物图

宽波段、大面阵、高灵敏非制冷太赫兹成像机芯在人体安检、危险物品检测识别、工业无损检测等诸多领域具有广泛的应用。特别是其小像元、大面阵的特点在诸如太赫兹生物全息成像等需求高分辨率的应用上有着巨大优势。在此之前，仅加拿大、法国、日本从源头掌握了芯片与器件设计及制造技术。该产品的成功推出，使我国在高端非制冷太赫兹成像器件领域实现完全自主可控，大幅提高我国在该领域的技术水平，将推动整个行业实现快速、健康发展。

基于国内领先的氧化钒红外焦平面芯片技术，烟台艾睿在第一代35μm 384 x 288太赫兹成像机芯RTM-T01的基础上，突破深亚波长太赫兹传感器技术，成功开发出17μm宽波段、大面阵、高灵敏非制冷太赫兹探测芯片，并形成RTM-T02太赫兹成像机芯产品，填补了国内空白，产品核心指标达到国际领先水平。