对于业界传言说中国光刻机超越世界领先水平,这点内容不够准确。严格意义上来说,中国属于蚀刻技术达到了一定的水平,光刻机制造技术目前还是依靠荷兰进口。
随着三星宣布7nm EUV工艺的量产,2018年EUV光刻工艺终于商业化了,这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战,目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态,EUV工艺还有很长的路要走。
近日荷兰大厂ASML公布2018年Q3季度财报,季度营收为27.8亿欧元,净利润为6.8亿欧元,全季度出货5台EUV,同时ASML预计今年将出货18台EUV,明年奖把产量提升至30台。平均每台价值上亿美元的EUV光刻机,为何受到厂商如此的追捧,同时让AMSL的订单已排到19年以后?
作为信息化时代的核心基石,集成电路的重要性逐渐为人们所认知。但是发展集成电路是一项系统性工程,它涉及设计、制造、封测、材料、设备等全产业链的整体提升。而光刻机就是集成电路这个基础性产业中最具关键性的基础装备之一。
前阵子的中兴拒绝令事件让很多人明白了半导体技术的重要性,华为等拥有自主设计移动芯片能力的厂商也受到了广泛赞誉。但很多人不知道的是,设计能力和制造能力其实完全是两回事,此前国内厂商基本上没有生产高端半导体芯片的能力。不过这一现状马上就要被打破了,中芯国际即将拥有一套世界顶级的EUV极紫外光刻机!