近期,半导体界掀起了一阵小小的光刻潮,原因就是浸润式光刻技术的开创者林本坚博士获得了2018年未来科学大奖-数学与计算机科学奖,并于近日进行了多次主题演讲,使半导体光刻这项高端而又略显神秘的技术形象地展示在了业界人士面前,也使得越来越多的人对它产生了兴趣,希望能够进一步了解和研讨。
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