本文介绍国产高速扫描电镜（High Throughput SEM）是如何着眼于工业界应用，历经更新换代，满足使用要求。主要从功能性能、重点部件、自主设计、使用操作、制造维护等五方面考虑，着重解释首创的新一代物镜概念和结构，助力实现性能目标，提供整体解决方案和应用平台。
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