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  • 应用于聚焦电子束的高亮度大尺寸石墨烯涂覆的冷场点发射源

    电子显微镜和光刻技术的冷场发射源存在几个长期存在的问题，例如它们固有的超高真空条件要求，电流稳定性相对较差以及发射衰减快，因此它们无法被广泛使用。本文提出了一种冷场发射电子源克服了这些问题，主要是基于使用石墨烯涂覆在镍针上的一种新型冷场点发射源。

    [技术专利] 2018-04-04 10:00
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