随着三星宣布7nm EUV工艺的量产，2018年EUV光刻工艺终于商业化了，这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战，目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态，EUV工艺还有很长的路要走。
根据中国台湾地区媒体《经济日报》报导指出，三星为了不让台积电独享苹果 A 系列处理器订单，之前规划在 7 纳米制程率最先导入先进的极紫外光技术，希望在制程进展上超越台积电。甚至，日前有传闻指出，曾经打算向生产 EUV 设备的厂商──阿斯麦（ASML），吃下一整年产量，就是为了阻碍台积电在导入 EUV 上的进度，借以拉近与台积电的差距。不过，此计划后来遭到了 ASML 的拒绝。
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