三星表示,该工厂将安装极紫外(EUV)光刻设备,这将有助于三星在超大规模集成方面保持技术领先地位。与目前使用的ArF灯相比,EUV灯具有更短的波长,并且将允许绘制尺寸小于10纳米的芯片所需的更精确和更详细的电路。
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