为打造具有自主知识产权的“大国重器”,中微半导体设备公司着手研发MOCVD设备,经过近7年的努力,终于在2016年底正式投入市场,打破了美国、德国的设备垄断局面。“仅用了一年的时间,我们公司在国内市场占有率达70%,成为全球MOCVD设备领域的两强之一。”南昌中微半导体设备公司副总经理周建抚如是说。
今年,南昌以LED光电产业为核心的“南昌光谷”招商引资迎来了重大突破:在LED高端核心装备MOCVD方面,引进了中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称“中微半导体设备公司”),从而使LED产业告别了只能从美国进口核心装备MOCVD的历史。
晶元光电目前拥有约350台MOCVD设备,并正在对其中一些设备进行调整以用于生产VCSEL(垂直腔面发射激光器)芯片。其中一部分4英寸晶圆MOCVD设备将生产用于数据中心的VCSEL芯片,一部分6英寸晶元MOCVD设备将生产用于3D传感器的VCSEL芯片。通过不断调整MOCVD设备用途,晶元光电表示计划在2018年将VCSEL产能扩大25%。